20 世紀中期 蘇聯(lián)拉扎林科夫婦研究開(kāi)關(guān)觸點(diǎn)受火花放電腐蝕損壞的現象和原因時(shí)，發(fā)現電火花的瞬時(shí)高溫可以使局部的金屬熔化、氧化而被腐蝕掉，從而開(kāi)創(chuàng )和發(fā)明了電火花加工方法線(xiàn)切割放電機也于1960年發(fā)明于蘇聯(lián)。當時(shí)以投影器觀(guān)看輪廓面前后左右手動(dòng)進(jìn)給工作臺面加工，其實(shí)認為加工速度雖慢，卻可加工傳統機械不易加工的微細形狀。代表的實(shí)用例子是化織噴嘴的異形孔加工。當時(shí)使用之加工液用礦物質(zhì)性油(燈油)。絕緣性高，極間距離小，加工速度低于現在械械，實(shí)用性受限。

將之NC化，在脫離子水(接近蒸餾水)中加工的機種首先由瑞士放電加工機械制造廠(chǎng)在1969年巴黎工作母機展覽會(huì )中展出，改進(jìn)加工速度，確立無(wú)人運轉狀況的安全性。但NC紙帶的制成卻很費事，若不用大型計算機自動(dòng)程序設計，對使用者是很大的負擔。在廉價(jià)的自動(dòng)程序設計裝置(Automatic Programed Tools APT)出現前，普及甚緩。

日本制造廠(chǎng)開(kāi)發(fā)用小型計算機自動(dòng)程序設計的線(xiàn)切割放電加工機廉價(jià)，加速普及。線(xiàn)切割放電加工的加工形狀為二次元輪廓。自動(dòng)程序裝置廣用簡(jiǎn)易形APT(APT語(yǔ)言比正式機型容易)，簡(jiǎn)易形APT的出現為線(xiàn)切割放電機發(fā)展的重要因素